kemcsm.ru
Термодиффузионные установки
ЗаказатьОписание
Термическая диффузия - физико-химический процесс, изменяющий структуру поверхности обрабатываемого изделия в условиях термостабилизации и контролируемой атмосферы.
В настоящее время ООО «НПО «ГКМП» является единственным отечественным производителем термодиффузионных установок типа СДОМ, предназначенных для обработки полупроводниковых пластин диаметром до 100 мм. Возможно изготовление установок для обработки пластин диаметром до 150 мм, в перспективе разрабатываются установки для термодиффузии пластин диаметром 200 мм и 300 мм.
В зависимости от требований заказчика, в термодиффузионных установках возможна реализация процессов окисления (в том числе и пирогенного) и диффузии с применением различных окислителей и диффузантов (азота, хлора, мышьяка, фосфора, бора и пр.)
Нагревательные элементы, применяемые в установках типа СД.ОМ имеют уникальную конструкцию и наматываются из проволоки специальных марок высокотемпературных сплавов (еврофехраль, kanthal, kanthal A1). Намотка производится в горячем состоянии по специально разработанному технологическому циклу, что значительно уменьшает остаточную деформацию полученного нагревателя и продлевает его срок службы.
https://gkmp32.com/electro/termodiffuzionnye-i-termokompressionnye-ustanovki/
| Наименование параметра | Значение |
| Количество камер в установке: | 1, 2, 3 или 4 |
| Форма рабочей камеры: | цилиндрическая |
| Габариты рабочей зоны камеры:
- диаметр, мм: - длина, мм:
|
100, 150 (200 и 300 в разработке) 600* (по требованию заказчика) |
| Диапазон рабочих температур в камере нагрева, оС: | 100...1250 |
| Способ нагрева: | резистивный |
| Допустимая масса садки с деталями, кг: | 1...15 |
| Диапазон скоростей нагрева/охлаждения, оС/мин: | 1…20 |
| Проводимые процессы: | диффузия, окисление (в т.ч. пирогенное) |
| Количество входов для рабочих газов: | 2...8 |
| Доступные операции с рабочими газами: | смешение, увлажнение |
| Минимальное процентное содержание каждого газа при смешении: | 5% |
| Диапазон автоматической регулировки расхода каждого газа, л/мин: | 20...600 |
| Возможность установки дополнительных барбатёров с жидким диффузантом: | имеется |
| Возможность установки системы загрузки-выгрузки с возможностью встряхивания: | имеется |
| Равномерность температуры в рабочем пространстве без загрузки электропечи при автоматическом контроле поддержания температуры в установившемся режиме, оС, не хуже: | ±1±0,0005t |
| Стабильность поддержания рабочей температуры в рабочей зоне при управлении нагревом в автоматическом режиме, оС, не хуже: | ±1±0,0005t |
Российский производитель вакуумного, криогенного и прочего термического оборудования. Тесное сотрудничество с рядом предприятий оборонно-промышленного комплекса, электронной, атомной и авиакосмической промышленности.
- Адрес 241022, г. Брянск, бульвар Щорса, 7
- Телефон
- Эл. почта
