Установки вакуумного напыления типа УВН-71, УВН-74

Name: Установки вакуумного напыления типа УВН-71, УВН-74
SKU: 22392
Availability: InStock

Описание

Во времена Советского Союза для собственных нужд электронной, авиакосмической, атомной промышленности было произведено много установок типа УВН-71 (цилиндрическая камера с вертикальным подъёмом колпака), УВН-74 (цилиндрическая горизонтальная камера с открывающейся круглой фланцевой дверью), РЭ-70, ВУ-1, ВУ-2, Оратория (камера с прямоугольной фланцевой дверью) и пр. Несмотря на то, что данные установки морально (а зачастую и физически) устарели, многие из них используются в современном производстве, а с учётом отлаженных технологических процессов переход на современные установки потребует колоссальных вложений и займёт много времени.

НПО «ГКМП» предлагает создание аналогичных установок с габаритными характеристиками камеры и подколпачной оснастки, полностью идентичными существующим, но при этом оснащённых новейшей автоматизированной системой управления, откачной вакуумной системой, системой контроля параметров процесса напыления. Данные установки заменят имеющиеся без необходимости изменения техпроцесса, а применяемые современные комплектующие и материалы позволят увеличить срок службы и упростить обслуживание и ремонтопригодность. Также возможен вариант глубокой модернизации имеющихся установок, в процессе которого изменению подвергнутся только те системы, замена которых востребована заказчиком.

Наименование параметра	Значение
Количество камер в установке:	1
Форма рабочей камеры:	цилиндрическая
Габариты рабочей зоны камеры: - диаметр, мм: - длина, мм:	150...600 200...1000
Температура подогрева подложек, оС:	50...400
Метод распыления материала:	резистивный нагрев, электронно-лучевой нагрев, ионно-плазменное магнетронное распыление
Материалы подложек:	металлы, сплавы, керамика, стекло, монокристаллические пластины
Материалы нанесения:	металлы, сплавы, нитриды, двухкомпонентные соединения
Толщина наносимого покрытия, мкм:	0,001...500 (определяется технологией)
Возможность вакуумной очистки тлеющим разрядом:	имеется
Возможность последовательного нанесения нескольких покрытий в одном процессе:	имеется
Типы применяемых откачных систем:	масляная (пластинчато-роторный + диффузионный насосы), безмасляная (сухой спиральный + турбомолекулярный насосы)
Типы датчиков контроля толщины напыления:	вибрационный, кварцевый, оптический (фотометрический), резистивный, емкостной, комбинированный
Расположение подложек в камере:	вертикальное, горизонтальное
Возможность карусельной обработки подложек:	имеется
Возможность двустороннего нанесения:	имеется
Возможность нанесения в ограниченном объёме:	имеется

https://gkmp32.com/electro/ustanovki-vakuumnogo-napyleniya/

Производитель

НПО ГКМП

Российский производитель вакуумного, криогенного и прочего термического оборудования. Тесное сотрудничество с рядом предприятий оборонно-промышленного комплекса, электронной, атомной и авиакосмической промышленности.